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靜電的危害：
 
1、吸塵：生產過程中，由于靜電吸附的作用，塵埃易吸附在器件和設備表面，影響產品質量，造成故障。
2、電暈放電：電暈放電時，往往伴隨著電暈噪聲，對收音機、通信機、微電子設備均會造成干擾。電暈放電會嚴重影響MOS電路和雙極性集成電路的產品質量。
3、引起火災或爆炸。
4、人體帶靜電會引起電擊。
 

靜電的消除：
靜電是難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生產中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。時間證明，在半導體器件的制造和測試過程中、在運輸和儲存中、在設備的安裝和調試以及使用過程中，半導體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導體器件的生產中，實際上所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的方法有很多，對有防靜電環(huán)境要求的無塵車間工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料
采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄露的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。
 
2、接地
接地時帶電導體消除靜電為普遍、經濟、簡便、可靠的方法。
 
3、中和
將帶電體周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。
 
4、濕度控制
在眾多消除靜電的方法中室內濕度控制也被認為可以用來減少和消除無塵車間內的靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度，在該區(qū)域內物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。

潔凈室在許多行業(yè)是必不可少的，尤其是在微電子工業(yè)方面有著嚴格的要求，例如生產較高檔的電子元器件就必須要有潔凈的工作環(huán)境，有關檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作環(huán)境來滿足其功能。為了使這個潔凈環(huán)境能滿足生產、檢測等要求，我們必須克服一個不容忽視的因素，那就是靜電。

在潔凈室里生產的各類電器元器件，基本上都需要防靜電，因為生產高性能要求的產品時，若有靜電吸附，被吸附的微塵就成了擊穿中心，就會使材料的絕緣特性下降等。元器件、設備、甚至墻面或地板上都可能隨時產生靜電荷，有了靜電荷就有了靜電吸附的現象，導致潔凈室的潔凈度的下降。同時，潔凈度下降后，空氣中的微粒數量增加，這樣更加劇了靜電吸附現象的發(fā)生。

因此潔凈室在關注污染控制的同時也應注意防止靜電，下面就從3方面來述說一下潔凈室靜電的防止方法。

1、防止?jié)崈羰依锂a生靜電

我們必須在設計和采用材料時就選用不易產生靜電，或產生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設計中我們?yōu)榱耸轨o電電荷有迅速逃逸的通路，往往只注重對地板的作用，即采用防靜電地板來消除靜電。并且只把系統(tǒng)電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標準，目前看來是遠遠不夠的。

現在歐美、日本等在設計潔凈室時已經不局限于防靜電地板了，對潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結構系統(tǒng)等都考慮在內。目前在設計時我們也會充分考慮到防靜電的要求，如采用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電。使?jié)崈羰也划a生或少產生靜電。

2、利用潔凈室的空氣、溫濕度來控制

我們在設計潔凈室時一般利用其固有的條件來消除靜電。因為空氣濕度在RH50%左右或溫度在23℃左右條件下，其形式的空氣導電會有良好的防靜電環(huán)境。設計條件允許時盡量滿足靠攏它。采用離子發(fā)生器也可消除靜電和防止帶靜電等。

3、消除人體帶電

進入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套，穿防靜電鞋等來消除靜電。運輸周轉中的工具如小車，箱子也應采用防靜電的產品。

靜電放電在很多情況下是我們所不希望的，它在具有易燃易爆氣體的場所極易導致危險的火災。而且潔凈室內的靜電對產品的傷害是極大的，因此，潔凈室靜電的控制是不可忽視的。

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