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美國聯(lián)邦209D/209E潔凈室分級及人體產(chǎn)生塵埃與活動的關(guān)系
美國聯(lián)邦209D/209E潔凈室分級及人體產(chǎn)生塵埃與活動的關(guān)系
潔凈室的分級:(美國聯(lián)邦209D潔凈室和209E潔凈室分級---看表)
分級的意義:1級:主要用在微電子工業(yè)(制造集成電路)
10級:半導(dǎo)體工業(yè)(制造集成電路)
100級:醫(yī)藥工業(yè),手術(shù)室(包括醫(yī)藥工業(yè)中的無菌制造工藝, 外科手術(shù),集成電
路制造,隔離治療病房,)
1000級:光學(xué)工業(yè)(高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn))
10000級:液壓設(shè)備和氣壓設(shè)備的裝配,食品飲料工業(yè),萬級醫(yī)藥工業(yè)中也很常用
100000級:電子工業(yè),食品,醫(yī)藥
美國聯(lián)邦209D潔凈室分級
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分級數(shù)量,所測粒徑(大于或等于所示粒徑,單位?m) | |||||
分級 | 0.1?m |
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